英特尔已率先组装阿斯麦的高数值孔径High-NA极紫外EUV光刻机，并称这是其超越竞争对手的重要一步。
去年12月，阿斯麦确认向英特尔交付首台高数值孔径极紫外光刻系统，这台机器的售价高达3.5亿欧元，约合27亿元人民币。
英特尔光刻主管马克·菲利普斯表示：“我们在决定购买这些设备时就已经认可了它们的价格。如果我们不认为这些设备物有所值，我们根本不会采购。”
此前英特尔CEO基辛格曾表示，该设备将会被应用于1.8nm以下的挑战。
除了英特尔外，台积电、三星、SK海力士和美光等也都订购了这款机器，但由于该设备的运输和安装可能需要长达六个月的时间，因此英特尔此举已经领先了对手至少半年。
而英特尔决定要率先采用高数值孔径极紫外光刻机也并非偶然。
英特尔虽曾参与开发极紫外光刻技术，但在开始使用阿斯麦首款极紫外光刻机上却晚于其竞争对手台积电，基辛格也承认，这是一个严重的失误。
菲利普斯也表示：“现在我们已经有了期待已久的新一代极紫外光刻机，我们不想再犯过去的错误。”
