乌海市京运通取得单晶炉副室气动球阀专利,能减少晶棒发白、抽空不过的现象

乌海市京运通取得单晶炉副室气动球阀专利,能减少晶棒发白、抽空不过的现象
2024年10月30日 09:50 金融界火线

金融界2024年10月30日消息,国家知识产权局信息显示,乌海市京运通新材料科技有限公司取得一项名为“种单晶炉副室气动球阀”的专利,授权公告号CN 221880420 U,申请日期为2023年12月。

专利摘要显示,本实用新型公开了一种单晶炉副室气动球阀,具体涉及单晶炉副室控制技术领域,包括用于支撑的支撑座,所述支撑座上设置有导流连接组件,所述导流连接组件包括设置在支撑座底部的阀门主体,所述阀门主体的两端均设置有用于导流的法兰。本实用新型通过设置导流连接组件,气流能够通过法兰进行输送完成单晶炉副室的泄压工作,能减少晶棒发白,抽空不过的现象,气流通过加强管输送并导入过滤器内,通过流量计能够实时监测气流外泄的流量大小,有便于对其进行精准控制,提高装置在使用时的便捷性。

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