赛姆柯取得LPCVD碳化硅桨调节装置专利,快速准确调整碳化硅桨的位置

赛姆柯取得LPCVD碳化硅桨调节装置专利,快速准确调整碳化硅桨的位置
2024年11月16日 19:10 金融界火线

金融界2024年11月16日消息,国家知识产权局信息显示,赛姆柯(苏州)智能科技有限公司取得一项名为“一种LPCVD碳化硅桨调节装置”的专利,授权公告号CN 222008032 U,申请日期为2023年12月。

专利摘要显示,本实用新型涉及一种LPCVD碳化硅桨调节装置,包括基台、支撑机构、高度调节机构、旋转机构、摆动机构、微调机构,支撑机构包括第一支板、第二支板、第三支板及支撑座,第一支板包括纵板、横板,支撑座设置在横板上,支撑座用于固定碳化硅桨;高度调节机构与纵板连接用于调节支撑机构在竖直方向移动,旋转机构与纵板连接用于调节支撑机构在与纵板平行的竖直面旋转,摆动机构与第三支板连接用于带动第三支板与支撑座在第二支板上水平摆动,微调机构与支撑座、第三支板连接用于调节支撑座以竖直线为中心使其相对两端升降,支撑座的相对两端的运动方向相反。本实用新型提供的装置,快速准确调整碳化硅桨的位置,调整难度小,调整精度易控制。

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