金融界2024年11月16日消息，国家知识产权局信息显示，广东振华科技股份有限公司取得一项名为“真空室破空装置以及真空镀膜设备”的专利，授权公告号CN 222008026 U，申请日期为2024年4月。
专利摘要显示，本申请公开了一种真空室破空装置以及真空镀膜设备，真空室破空装置应用于真空镀膜设备，真空镀膜设备包括设备本体，设备本体设有真空室，真空室用于供镀膜件放置，真空室破空装置包括：破空组件以及缓冲组件。破空组件包括第一进气管以及第二进气管，第一进气管的出气口以及第二进气管的出气口均与真空室连通，且镀膜件位于第一进气管与第二进气管之间；缓冲组件设置在真空室内，缓冲组件包括第一缓冲件以及第二缓冲件，镀膜件位于第一缓冲件与第二缓冲件之间，第一进气管位于第一缓冲件远离镀膜件的一侧，第二进气管位于第二缓冲件远离镀膜件的一侧。本申请公开了的真空室破空装置能够同时满足提高破空效率与防止镀膜件破碎的需求。
