金融界2024年11月16日消息,国家知识产权局信息显示,成都晶九科技有限公司取得一项名为“一种方便校准单晶炉籽晶同心度的工装”的专利,授权公告号 CN 222008170 U,申请日期为2024年1月。
专利摘要显示,本实用新型公开了一种方便校准单晶炉籽晶同心度的工装,涉及晶体生长设备技术领域,该工装包括电阻炉,电阻炉内设置有旋转机构、夹持机构和同心度调整机构,旋转机构的执行端传动连接有导杆;夹持机构包括连接杆和钼籽晶杆,钼籽晶杆的一端设置有夹具,钼籽晶杆的另一端与连接杆可拆卸连接;同心度调整机构包括紧固机构和激光位移传感器,紧固机构设置于连接杆远离钼籽晶杆的一端,导杆与连接杆通过紧固机构可拆卸连接;激光位移传感器设置于电阻炉内,且其长边的延伸方向与钼籽晶杆的中轴线平行。其通过夹持机构和同心度调整机构,便于调整籽晶结构与不锈钢导杆的同心度,解决了塞钼片热胀冷缩产生形变影响整体结构同心度的问题。
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