金融界2024年11月21日消息，国家知识产权局信息显示，湖南艾科威半导体装备有限公司申请一项名为“一种真空设备用多工位多功能旋转工件台”的专利，公开号CN 118979234 A，申请日期为2024年9月。
专利摘要显示，本申请涉及一种真空设备用多工位多功能旋转工件台，属于磁控溅射镀膜设备领域，其包括机架、公转台和主驱动源，公转台转动设置在机架上，主驱动源位于机架上，主驱动源控制公转台的转动，公转台上设置有多个工位座，单个工位座供一个工件放置，工位座相对公转台转动，工位座的转动轴线和公转台的转动轴线垂直还包括传动机构传动机构用于将公转台相对机架转动时产生的相对运动趋势向工位座传递。本申请利用公转台相对机架转动时产生的相对运动趋势，在传动机构的作用下将此趋势传向工位座，避免了额外的单独的驱动源的设置，简化了设备整体的电气化结构。
