金融界 2024 年 11 月 22 日消息，国家知识产权局信息显示，ASM IP 私人控股有限公司申请一项名为“用于表面改性的方法、系统和装置”的专利，公开号 CN 118983263 A，申请日期为 2024 年 4 月。
专利摘要显示，本文描述了用于在室中支撑衬底的示例、方法、系统和装置，其中衬底包括表面，使衬底表面与室内的受激物质接触，使衬底表面与室内的蚀刻剂物质接触，以及响应于执行上述步骤从衬底表面去除有机残余物或非有机残余物或其组合。
金融界 2024 年 11 月 22 日消息，国家知识产权局信息显示，ASM IP 私人控股有限公司申请一项名为“用于表面改性的方法、系统和装置”的专利，公开号 CN 118983263 A，申请日期为 2024 年 4 月。
专利摘要显示，本文描述了用于在室中支撑衬底的示例、方法、系统和装置，其中衬底包括表面，使衬底表面与室内的受激物质接触，使衬底表面与室内的蚀刻剂物质接触，以及响应于执行上述步骤从衬底表面去除有机残余物或非有机残余物或其组合。
