广东气派科技取得晶圆贴膜设备专利，减少贴膜过程中的原料浪费和制程不良问题_

金融界2024年11月23日消息，国家知识产权局信息显示，广东气派科技有限公司取得一项名为“一种晶圆贴膜设备”的专利，授权公告号 CN 222029047 U，申请日期为2023年12月。

专利摘要显示，本实用新型提供了一种晶圆贴膜设备，其包括工作台、临近所述工作台设置的机械臂、设置于所述工作台上方的膜传送装置、脱模机构以及设置于所述工作台侧面且朝向所述脱模机构设置的鼓风装置，所述机械臂用于将待贴膜的晶圆移动到所述工作台上，所述膜传送装置用于使装载离心膜的离心膜载体在设定的路径上运动并经过所述脱模机构，所述脱模机构用于在离心膜经过时使离心膜与离心膜载体分离并覆盖所述工作台上的晶圆所述鼓风装置用于对刚刚与所述离心膜载体分离的离心膜边缘吹风，使得离心膜快速脱离离心膜载体。采用本实用新型的晶圆贴膜设备，可以减少贴膜过程中的原料浪费和制程不良问题。