金融界2024年11月23日消息，国家知识产权局信息显示，江苏芯德半导体科技股份有限公司取得一项名为“适用于等离子清洗机的防电弧产生装置”的专利，授权公告号CN 222036127 U，申请日期为2024年3月。
专利摘要显示，本发明的适用于等离子清洗机的防电弧产生装置，包括罩覆载片台的密闭腔室，于所述腔室内设有通过升降杆悬置于载片台顶部的压环，所述压环用于环压置于载片台上的待加工的圆片。通过压环环压圆片，使得圆片边缘与载片台之间的间隙减小或直接贴合，从而防止电弧放电现象的产生。该装置可以让机台兼容翘曲度在5mm以内的圆片，支持机台连续自动作业，有效提高机台在作业翘曲片时的生产效率，具有很强的实用性和广泛地适用性。
