金融界2024年11月30日消息，国家知识产权局信息显示，安徽超元半导体有限公司申请一项名为“一种晶圆视觉检测机的晶圆移载机构”的专利，公开号 CN 119044060 A，申请日期为2024年8月。
专利摘要显示，本发明公开了一种晶圆视觉检测机的晶圆移载机构，涉及半导体加工技术领域。包括支撑支架和设备底座，所述支撑支架上活动安装有驱动辊，所述驱动辊两端边缘处设有输送链，所述输送链上开设有活动孔，所述活动孔内活动安装有定位机构，所述定位机构包括活动安装在活动孔内的定位轴，且定位轴在活动孔内受到一定阻力，所述输送链下方设有转向机构。本发明所述的一种晶圆视觉检测机的晶圆移载机构，定位机构可以将晶圆定位在输送链之间，之后可以通过电机带动驱动辊旋转，驱动辊旋转之后其会带动定位机构上的晶圆向前运动，将晶圆移载到晶圆视觉检测机内部检测，且检测过程中转向机构会带动晶圆自动翻面，提升检测效率。
