致真精仪申请用于扫描探针显微镜的压电位移装置专利,提高压电位移装置位移控制的精度和可靠性

致真精仪申请用于扫描探针显微镜的压电位移装置专利,提高压电位移装置位移控制的精度和可靠性
2024年11月30日 17:11 金融界火线

金融界2024年11月30日消息,国家知识产权局信息显示,致真精仪(北京)科技有限公司申请一项名为“用于扫描探针显微镜的压电位移装置”的专利,公开号 CN 119044541 A,申请日期为2024年9月。

专利摘要显示,本申请涉及压电定位技术领域,公开一种用于扫描探针显微镜的压电位移装置,包括单轴板,单轴板包括第一外框、设置于第一外框内的中心平台和用于驱动中心平台沿对应的预设轴向位移的至少一个位移组件;其中,第一外框包括关于预设轴向对称的第一侧边和第二侧边,中心平台分别与第一侧边向内延伸的第一部分和第二侧边向内延伸的第二部分铰接。通过第一外框的两个侧边的延伸部分与中心平台铰接,允许中心平台在不同预设方向上独立运动的同时,能够减少一个轴向运动对另一轴向运动的振动传递,从而通过振动隔离机制降低振动引起的耦合误差。减少了不同轴向位移机构间的相互串扰增强对各独立轴向位移的精确操控能力,从而提高了压电位移装置位移控制的精度和可靠性。

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