金融界2024年12月2日消息，国家知识产权局信息显示，江苏凯威特斯半导体科技有限公司申请一项名为“一种半导体器件表面清洗方法和系统”的专利，公开号 CN 119050022 A，申请日期为2024年11月。
专利摘要显示，本发明公开了一种半导体器件表面清洗方法和系统，包括：将经过初步去除大颗粒污染物处理的半导体器件放置于清洗平台的卡座上；传感器模块采集并获取所述半导体器件的第一清洗数据，拍摄模块获取所述半导体器件的第二清洗数据；对所述第二清洗数据进行第一分析处理，识别污染物数据；将第一清洗数据和污染物数据形成数据集；对所述数据集进行第二分析处理，计算实际清洗路径；基于所述实际清洗路径，采用纯水清洗液进行清洗；纯水清洗完成后，使用氮气进行吹干清洗；本发明能够提高半导体器件表面清洗效率和清洗效果、有效降低清洗成本、进一步提升清洗过程的精准性和可靠性。
