金融界2024年12月2日消息，国家知识产权局信息显示，盛吉盛半导体技术（上海）有限公司申请一项名为“水平调节装置、加热器组件以及半导体加工设备”的专利，公开号 CN 119050032 A，申请日期为2024年8月。
专利摘要显示，本发明涉及一种水平调节装置、加热器组件以及半导体加工设备，其中，所述水平调节装置包括：波纹管，内部中空，且沿高度方向延伸，上端用于连接调节对象；以及多个调节组件，在所述波纹管的内部沿水平方向彼此隔开配置，并且当所述调节对象呈水平时，具有第一高度，其中，所述多个调节组件中的每一个包括：伸缩部，在侧表面设有定位点，并且一端与所述波纹管的所述上端连接，能够沿所述高度方向以使所述调节组件具有所述第一高度的方式进行伸缩，以将所述调节对象调节为呈水平；以及感测部，与所述伸缩部相邻配置，用于感测所述定位点以确认所述调节组件的高度。
