金融界2024年12月4日消息，国家知识产权局信息显示，浙江求是半导体设备有限公司取得一项名为“门阀装置及外延反应设备”的专利，授权公告号 CN 222085280 U，申请日期为2024年3月。
专利摘要显示，本实用新型提供一种门阀装置及外延反应设备，所述门阀装置包括机架、驱动组件、柔性管组件、连接组件和阀本体，驱动组件设于机架，柔性管组件的一端与驱动组件密封连接，连接组件的一部分穿设在柔性管组件内，并连接驱动组件，以在驱动组件的驱动下相对于机架沿水平方向和竖直方向移动，阀本体设于连接组件位于柔性管组件外的另一部分。本实用新型的门阀装置通过驱动组件驱动阀本体沿水平方向和竖直方向移动，当门阀装置设在对应的腔室时，阀本体能够完全封闭腔室的开口或通道，以确保开口或通道封闭时的密封性，同时通过柔性管组件确保腔室在开口或通道封闭时的密封性，避免门阀装置的设置影响腔室的密封性。
