金融界2024年12月4日消息，国家知识产权局信息显示，拓荆创益（沈阳）半导体设备有限公司申请一项名为“一种加热盘表面形变在线检测装置”的专利，公开号CN 119063646 A，申请日期为2024年9月。
专利摘要显示，本发明公开了一种加热盘表面形变在线检测装置，其包括：密封盖组件，密封盖组件的顶部设有用于信号检测的透明窗；支架组件，支架组件的底部连接于密封盖组件的边缘；转台组件，转台组件连接于支架组件的顶部，以及传感器组件，传感器组件连接于转台组件，用于受控转台组件旋转以对位于密封盖组件内的加热盘进行扫描检测。其将传感器组件通过支架组件转动设置于密封盖组件的上方由编码器组件控制传感器的采样频率传感器由转台组件驱动旋转，从而完成对加热盘的上盘面的旋转扫描检测，并且传感器能够根据检测半径灵活调节，其兼容性更高，自动化程度高，检测灵活方便，能在真空且温度逐渐变化的过程中监测加热盘的表面变形情况。
