上海华力微电子取得检漏装置专利，能够极大地节约腔体漏点的检测时间_

金融界2024年12月4日消息，国家知识产权局信息显示，上海华力微电子有限公司取得一项名为“检漏装置”的专利，授权公告号CN 222087241 U，申请日期为2024年1月。

专利摘要显示，本实用新型涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种检漏装置，用于对工艺腔体的内部阀件进行检漏，所述内部阀件与一进气管路连接并通过所述进气管路进行驱动，所述检漏装置包括氦质谱检漏仪、氦气源及氦气管路，所述氦气管路的进气口与所述氦气源连接，所述氦气管路的出气口与所述进气管路连接，所述氦质谱检漏仪与所述工艺腔体连通。通过启用所述氦气源由所述氦气管路向所述内部阀件通入氦气若所述氦质谱检漏仪检测到所述工艺腔体内存在氦气，则说明所述内部阀件存在泄露的情况。如此一来，能够极大地节约腔体漏点的检测时间，提高检测效率。此外，所述氦气管路只需对现有进气管路进行简单改造即可接入，操作方便，实用性强。