金融界2024年12月4日消息，国家知识产权局信息显示，芯恩（青岛）集成电路有限公司申请一项名为“曝光单元摆放位置的优化方法”的专利，公开号 CN 119065207 A，申请日期为2023年6月。
专利摘要显示，本发明提供一种曝光单元摆放位置的优化方法，包括：设定曝光单元中器件的权重；选取所述曝光单元上的多个初始点，采用贝叶斯优化算法多次迭代获得所述曝光单元的 x 方向偏移量和 y 方向偏移量，得到所述曝光单元的摆放位置。本发明的优化方法可以应对曝光单元中包含不同权重器件的情况，且最终获得的摆放位置能够包含足够多的高权重器件；同时可以采用较少的点得到优化的摆放位置，减少了计算量，优化了计算效率。
