苏州光筑激光取得一种基于脉冲调制技术的薄膜沉积射频装置专利，可将加工时产生的气化余料和废气集中回收处理_

金融界2024年12月18日消息，国家知识产权局信息显示，苏州光筑激光设备有限公司取得一项名为“一种基于脉冲调制技术的薄膜沉积射频装置”的专利，授权公告号 CN 222160337 U，申请日期为2024年4月。

专利摘要显示，本实用新型公开了一种基于脉冲调制技术的薄膜沉积射频装置，涉及薄膜沉积射频技术领域，包括装置柜组和辅助组件，所述装置柜组的底部左右两侧对称安装有三角架，且三角架靠近装置柜组垂直中轴线的一些安装有移动组件，而且装置柜组的顶部安装有射频组件，所述辅助组件连接于射频组件的一侧。该基于脉冲调制技术的薄膜沉积射频装置，通过在射频组件一侧连接有辅助组件，可以将加工时所产生的气化余料以及废气进行集中回收处理，避免影响外界环境的同时还能回收余料，另外通过在装置柜组底部安装的三角架与移动组件，可以利用结构的活动性，根据需要灵活移动整个装置，或是将装置稳定的停放于地面，以保障装置使用的灵活性与稳定性。