深圳云潼微电子科技申请沟槽型 PMOS 管及制造方法专利,提高可靠性

深圳云潼微电子科技申请沟槽型 PMOS 管及制造方法专利,提高可靠性
2025年01月16日 19:51 金融界火线

金融界 2025 年 1 月 16 日消息,国家知识产权局信息显示,深圳云潼微电子科技有限公司申请一项名为“一种沟槽型 PMOS 管及制造方法”的专利,公开号 CN 119300424 A,申请日期为 2024 年 12 月。

专利摘要显示,本发明涉及半导体技术领域,尤其涉及一种沟槽型 PMOS 管,该 PMOS 管包括:P 型衬底、P 型外延层、元胞区和环绕所述元胞区的终端区;所述 P 型外延层位于所述 P 型衬底之上;所述元胞区和所述终端区位于所述 P 型外延层上;所述元胞区的元胞沟槽包括元胞凹槽、栅极氧化层和栅极多晶硅;所述栅极氧化层位于所述元胞凹槽的底部和侧壁上,所述栅极多晶硅填充在所述栅极氧化层形成的空间内,其中,所述栅极氧化层为富硼氧化层,所述富硼氧化层是向氧化层中注入硼离子形成的。该 PMOS 管具有低导通电阻,高雪崩耐量 EAS 能力和低的电压蠕变等优势,进而提高可靠性。

天眼查资料显示,深圳云潼微电子科技有限公司,成立于2022年,位于深圳市,是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本750万人民币,实缴资本750万人民币。通过天眼查大数据分析,深圳云潼微电子科技有限公司专利信息7条,此外企业还拥有行政许可1个。

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