金融界 2025 年 3 月 21 日消息，国家知识产权局信息显示，张家港中贺自动化科技有限公司申请一项名为“一种基于 1:1 正像投影成像的光刻系统、光刻方法及正像投影系统”的专利，公开号 CN 119644677 A，申请日期为 2024 年 12 月。
专利摘要显示，本发明公开
了一种基于 1:1 正像投影
成像的光刻系统、光刻方
法及正像投影系统，光刻
系统包括扫描工作台、平
面驱动机构、用于放置掩
模的掩模工作台、用于放
置基板的基板工作台、光
学系统，且掩模工作台与
基板工作台相对位置保
持不变；平面驱动机构被
配置为驱动框架组件在扫描工作台上作平面运动；光学系统包
括照明组件和投影组件，投影组件包括两组串联的具有相同透
镜布置结构的第一折反式镜组和第二折反式镜组；照明组件出
射的光线依次通过掩模工作台、第一折反式镜组、第二折反式
镜组后到达基板工作台，且在基板工作台上形成 1:1 正像投影。
本发明适用于光谱 i 线/h 线/g 线，具有良好的复消色差效果。
天眼查资料显示，张家港中贺自动化科技有限公司，成立于2014年，位于苏州市，是一家以从事研究和试验发展为主的企业。企业注册资本1000万人民币。通过天眼查大数据分析，张家港中贺自动化科技有限公司专利信息48条，此外企业还拥有行政许可3个。
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