腾讯网9月16日消息，微纳加工设备和解决方案提供商青岛天仁微纳科技有限责任公司完成工商信息变更，新增前海母基金、深创投、山东财金等股东。
该公司公开资料显示，青岛天仁微纳科技有限责任公司成立于2015年，是微纳加工设备和解决方案提供商。该公司专注于纳米加工领域，尤其是纳米压印技术。公司的核心竞争力是为客户提供纳米压印整体解决方案。产品与服务涵盖纳米压印相关的设备、模具、材料、工艺以及生产咨询服务。公司致力于拓展纳米压印技术在创新产品领域的应用，例如发光二极管(LEDs)、微纳机电系统(MEMs/NEMs)、虚拟现实和增强现实光波导(ARWaveguides)、3D传感、生物芯片、显示以及太阳能等。
GL300 MLA是天仁微纳最新型专门为晶圆级光学加工（WLO-Wafer Level Optics）开发的全自动紫外纳米压印光刻设备，可在200/300 mm基底面积上平行复制生产聚合物光学器件。该设备支持cassette to cassette自动上下片、自动复制柔性复合工作模具，工作模具自动更换。整个工艺过程在密闭洁净环境中进行，以保证压印结果质量。内置的高精度自动点胶系统、APC（主动模具基底平行控制）技术、以及自动脱模功能都保证了大面积晶圆级光学生产的精度、均匀性（TTV）与良率。同时，自动模具基底对位系统还可实现晶圆之间对位堆叠工艺（WLS-Wafer Level Stacking）。GL300 MLA纳米压印设备适用于DOE、匀光片（Diffuser）、微透镜阵列、菲涅尔透镜等产品的研发和量产。
智慧芽企业科创力评估平台显示，天仁微纳在前沿新材料产业的科创能力评级为A级，目前共有110余件专利申请，其专利布局主要集中于纳米压印、真空槽等相关领域。
