台积电南科18a厂产能陆续恢复 估晚间可正常运作

台积电南科18a厂产能陆续恢复 估晚间可正常运作
2021年08月02日 19:24 半导体投资联盟

集微网消息,台积电南科18a厂日前氧气供应受到污染,经过清理后,今日上午逐步复产。不过供应商透露,今日上午才启动约7%的产能,预估今日晚间投片量可恢复至九成。

台媒《经济日报》报道指出,供应商称,由于公司对整个制程恢复作业相当谨慎,今日上午才启动约7%的产能,经检测制程彻底排污后,下午才逐步增加投片量,预估今日晚间投片量可恢复至九成,应该很快会全数恢复满载。

据悉,台积电18a这次发生氧气槽污染事件,初步调查是气体供应商的联亚气体联结18a氧气槽的导管发生胶裂,导致制程所需的氧气受污染。

不过台积电厂务的监控系列却未即时发出警告,才会导致重要制程产线受到污染。所幸在厂务全力动员下,台积电18a厂产线可望在今晚恢复正常运作,外界一度担心会波及苹果新一代处理器供应的危机,应可解除。

(校对/Yuki)

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