一波三折!EUV光刻机再生变故,ASML有苦难言?

一波三折!EUV光刻机再生变故,ASML有苦难言?
2020年01月27日 00:30 姓翟名宽

一波三折!EUV光刻机再生变故,ASML有苦难言?

中国在移动互联网应用方面已经达到世界领先水平,然而在半导体制造方面还很落后,特别是在高端芯片制造方面。中国芯片自给率很低,只有10%左右,其余90%必须依赖进口,每年进口金额超过3000亿美元。以手机处理器为例,国内手机制造商,除华为外,所有其他手机品牌都依赖进口处理器。

在芯片设计上,华为海思已经可以设计5纳米的手机处理器芯片,与国际先进水平相差不大,然而中国国内芯片制造企业并不具备高端芯片的制造能力,代工还得交给台积电公司。中国最先进的芯片制造企业SMIC公司刚量产14纳米制造工艺的芯片,而TSMC和三星今年已经开始计划生产5纳米工艺的芯片,技术代沟相差3代。

为了实现技术突破和赶超,SMIC早在2018年就向荷兰光刻机巨头ASML 订购了一台EUV光刻机。然而,一波三折,两年过去了,SMIC购买的光刻机还没有到货。ASML表示,它已经向荷兰政府提交了出口许可证申请,正在等待批准。不过,不好的消息传来,EUV光刻机再生变故,ASML CEO彼得·温尼克(Peter Wennink)证实,中国客户(SMIC)的出口许可申请被推迟。

光刻机是芯片制造的核心设备,而EUV(极紫外)光刻机是7纳米以下工艺必须使用的设备,EUV光刻机制造技术一直由荷兰巨头ASML控制,可以说ASML垄断了7纳米以下的光刻机,任何想在高端芯片制造工艺探索的制造商都必须与ASML保持良好的关系。比如,英特尔、三星和TSMC都是ASML的重要股东,因此他们可以优先获得最先进的光刻机。

事实上,SMIC为得到这台光刻机也是竭尽全力,2018年初,ASML全额支付了1.2亿美元(约合人民币8.3亿元)。ASML最初计划在2019年年中完成交付和安装。然而,2018年12月,ASML爆发了一场奇怪的火灾,供货计划推迟到2019年底。到2019年,美国为了打压中国高科技领域的企业,美国商务部出台了“实体名单”,限制含有美国技术的产品和技术向中国出口。为了防止ASML向SMIC出售最先进的EUV光刻机,美国和荷兰政府举行了四轮谈判,向荷兰政府施压,要求其禁止批准ASML出口许可证申请。

EUV光刻机的利润惊人,一台设备的净利润超过50%,中国是ASML的第二大市场,中国订单占ASML总收入的20%,8 . 3亿元是它一年的净利润,不是一个小数目,中国市场对ASML的收入和利润有相当大的影响。ASML曾经表示,非常愿意向SMIC出售EUV光刻机,可以看出ASML有苦难言。

SMIC的货款已经支付了两年,先进的EUV光刻机还没到货。有人说,SMIC无法获得最先进的光刻机,从长远来看,利大于弊,理由是既然我们买不到,我们可以自己制造。过去,许多被外国封锁的先进技术和设备,最后都是被由中国人研发出来,比如两弹一星。

SMIC订购的EUV光刻机用于加工7纳米工艺的芯片,更多的是布局未来技术,EUV光刻机暂时不到货影响并不大。目前,SMIC14纳米工艺的芯片已经量产,可以接受华为海思的大量订单,帮助华为分散切断供应链的风险。你怎么看待这件事呢?欢迎在评论区留言。

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