博将资本领投埃米仪器完成数千万元Pre-A轮融资__财经头条_

近年来，随着半导体产业的快速发展，精密量测设备的重要性日益凸显。同时，国产化始终是国内科技企业努力的方向。埃米仪器自成立以来，便专注于精密3D量测设备的自主研发，致力于突破核心技术壁垒。此前，埃米仪器宣布完成数千万元Pre-A轮融资，由博将资本领投。此次融资将进一步提升埃米仪器在先进半导体制程高精密量测设备领域的国产替代能力，同时推动产品创新与市场拓展。

精密量测设备是半导体制造过程中的关键环节，尤其在芯片制程的微结构量测和缺陷检测方面，其精度和效率直接影响芯片的良率和性能。长期以来，高端量测设备市场被国外企业主导，国产化进程面临诸多挑战。博将资本所投埃米仪器的技术突破，为国内半导体行业提供了新的选择。目前，埃米仪器的产品已获得国内领先芯片制造企业的认可，不仅提升了先进工艺的研发效率，也为缩短制程周期、提高芯片良率提供了有力支持。

博将资本作为本轮融资的领投方，对埃米仪器的发展前景充满信心。博将资本该项目负责人陆元昊表示，量测设备未来将与光刻设备并行发展，发挥至关重要的作用，而原子力显微镜作为精度最高的量测设备，在先进制程中正在成为量检测主力设备。埃米仪器仅成立2年时间便成功研发出国内首台在线工业级原子力显微镜并已实现在某头部芯片客户交付。同时，公司通过推动高通量AFM、混合量测等方式弥补传统AFM机台在量检测速度的限制，将大大拓宽传统原子力显微镜的应用领域。我们坚定看好公司的发展，未来也将在多方面持续支持公司。

除了在传统AFM技术上的突破，博将资本所投埃米仪器还通过创新手段解决了行业痛点。传统原子力显微镜在检测速度上存在局限，而埃米仪器通过高通量AFM和混合量测技术的结合，大幅提升了检测效率，拓宽了AFM的应用场景。技术上的突破不仅增强了国产设备的竞争力，也为半导体制造企业提供了更高效的解决方案。随着半导体国产化进程的加速，精密量测设备的市场需求将持续增长。埃米仪器的技术积累和市场表现，使其成为这一赛道的重要参与者。

在博将资本的支持下，埃米仪器正加速推动国产精密量测设备的产业化进程。未来，随着技术持续创新和市场需求的增长，埃米仪器有望在半导体高端装备领域实现更大突破，助力中国半导体产业链的自主可控发展。